無(wú)塵潔凈室的氣流速度/換氣次數，一直是潔凈室設計中受到關(guān)注的問(wèn)題，隨著(zhù)潔凈室污染源的控制效果增加及末級過(guò)濾器效率的提高等，對有關(guān)規范、導則等提出的推薦或參考值是否偏于保守，已有不少討論;FFU在應用中人們擔心的噪音、損壞維修等問(wèn)題已在實(shí)踐中得到解決，隨著(zhù)FFU的不斷改進(jìn)，對是否采用FFU回風(fēng)系統也是個(gè)熱點(diǎn)：懸浮分子污染(AMC)的控制在微電子及IC工業(yè)中已日益提到日程上來(lái)，受到關(guān)注。以下對這些問(wèn)題的情況分別作歸納和分析。

　 　無(wú)塵潔凈室內一定潔凈度下氣流速度的確定，隨潔凈室用途等具體情況而異，它不僅受室內發(fā)塵量及過(guò)濾器效率還受其他因素影響，就工業(yè)潔凈室而言，影響潔凈度及選擇氣流速度的因素主要是：

　　(1)室內污染源：建筑物組件、人員數量及操作活動(dòng)、工藝設備、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據具體情況而異，變化很大;

　　(2)室內氣流流型及分布：?jiǎn)蜗蛄饕缶鶆?、平等的流線(xiàn)，但會(huì )受到工藝設備布置和位置變動(dòng)及人員活動(dòng)情況等的干擾形成局部渦流;而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層;

　　(3)自?xún)魰r(shí)間(恢復時(shí)間)的控制要求：潔凈室中事故釋放或帶入污染物或空氣氣流的中斷或正常操作時(shí)的間歇性對流氣流或人及設備的移動(dòng)等都會(huì )造成潔凈度的惡化，恢復到原來(lái)潔凈度的自?xún)魰r(shí)間決定于氣流速度;對自?xún)魰r(shí)間的控制要求取決于此時(shí)間框架內(惡化的潔凈度下)，對產(chǎn)品生產(chǎn)的質(zhì)量及成品率影響的承受能力;

　　(4)末級過(guò)濾器的效率：在一定的室內發(fā)塵量下，可采用較率的過(guò)濾器以降低氣流速度;為節能應考慮采用較率的過(guò)濾器，并降低氣流速度，或采用較低效率的過(guò)濾器并采用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積zui小;

　　(5)經(jīng)濟性考慮：過(guò)大的氣流速度造成投資及運行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過(guò)大往往不必要，亦不一定有效果;

　　(6)對潔凈度要求低的潔凈室，有時(shí)換氣次數決定于室內排熱的要求。

　　FFU系統的應用

　　FFU在使用壽命及維護上已經(jīng)實(shí)踐證明無(wú)可擔心。當前其改進(jìn)主要是：

　　(1)采取均流及減少噪音的措施，噪音可在50db以?xún)?

　　(2)電動(dòng)機采用DC/EC(電子整流電機)，以耗較原交流電機節約近50%，因為小風(fēng)機所用小容量(功率<1/2HP)的交流電機，一般皆為電容分相式或隱極式，其效率僅40%左右，而DC/EC電機的效率可達75～80%;在調速控制上可每臺單獨的以過(guò)濾器降壓進(jìn)行控制以節約能耗，但目前投資回收期尚長(cháng)而未廣泛采用，一般常用分組群控或全部群控。

　　(3)但FFU出口靜壓不能過(guò)大，一般采用出口風(fēng)速成0.38m/s，此時(shí)其靜壓一般在250Pa以?xún)取?/span>

　　FFU回風(fēng)系統與其他方式相比的優(yōu)點(diǎn)

　　優(yōu)點(diǎn)：

　　(1)靈活性大，便于改造;

　　(2)占用建筑物空間較少;

　　(3)潔凈室內空氣壓力大于回風(fēng)靜壓室，排除靜壓室對潔凈室污染的可能性。

　　缺點(diǎn)：

　　(1)要求回風(fēng)道全部阻力(包括多孔地板、格柵及風(fēng)道)、干表冷器阻力及末級過(guò)濾器的阻力(在初阻力時(shí))，總共應控制在165Pa左右，以滿(mǎn)足運行時(shí)zui大阻力在250Pa以?xún)?。因此干表冷器的傳熱面積要較大，回風(fēng)道尺寸亦要較大，多孔地板及格柵等的阻力要小，一般作法是：控制干表冷器阻力在50Pa左右，回風(fēng)道阻力在15Pa以?xún)?，否則就需要再增設加壓風(fēng)機系統，這就是降低了FFU系統的綜合優(yōu)點(diǎn)。

　　(2)采用DC/EC電機后，單位風(fēng)量的能耗可能比當前一般大型離心風(fēng)機的集中系統為低，但已有研究指出，比采用改進(jìn)后的大型軸流風(fēng)機的回風(fēng)系統的能耗還是要高。因此需要注意大型軸流風(fēng)機的效率提高及其系統的阻力降低的因素。

　　(3)一般FFU系統由于單位風(fēng)量的能耗較大，因此潔凈室的冷負荷亦相應增加。

　具體情況下的評價(jià)

　　(1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時(shí)，其綜合經(jīng)濟性一般往往可取。

　　(2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過(guò)濾器滿(mǎn)布率100%時(shí)，對大的系統采用FFU，當前還是不經(jīng)濟的;對小系統有意義作具體比較。

　　(3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過(guò)濾器滿(mǎn)布率≤40%時(shí)對大系統綜合經(jīng)濟性往往相差不多，但對IC工廠(chǎng)而言FFU系統的靈活性是重要的，因此當前IC工廠(chǎng)對過(guò)濾器滿(mǎn)布率≤40%時(shí)，采用FFU系統已經(jīng)普遍。