無(wú)塵室內的浮游微粒子濃度，使用高性能的過(guò)濾器即可容易達到零水平，實(shí)際的生產(chǎn)現場(chǎng)由于作業(yè)者、機器、周邊機械的發(fā)塵及基板運送時(shí)所接觸的零件材料的發(fā)塵等，在制造品周邊揚起了少許的微粒子，因而造成了元件清潔面的粒子污染。
   
    無(wú)塵室內該如何防止微粒子污染呢？應遵守下列四項基本原則：

    一、不攜入

    在無(wú)塵室內不攜入微粒子的方法有：

    1）作業(yè)員進(jìn)入無(wú)塵室前，機臺、零件攜入前應進(jìn)行清潔處理；

    2）進(jìn)入無(wú)塵室者在更衣室要穿著(zhù)不發(fā)塵、不產(chǎn)生靜電的具特殊導電性纖維材質(zhì)的無(wú)塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

    3）通過(guò)風(fēng)淋室時(shí)利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進(jìn)入無(wú)塵室。

    4）機器及材料帶進(jìn)無(wú)塵室前，應盡可能在密封狀態(tài)下帶進(jìn)無(wú)塵室前室保養后用超純水擦拭，經(jīng)風(fēng)淋室吹淋后才進(jìn)入無(wú)塵室。

    5）無(wú)塵室中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。  

    二、不發(fā)生

    在控制zui大污染源--人在無(wú)塵室內的微粒子發(fā)塵量的同時(shí)，也應控制第二大污染源—制造機臺的發(fā)塵量。因物品在移動(dòng)時(shí)，所產(chǎn)生的摩擦及接觸剝離會(huì )造成發(fā)塵，而物品在移動(dòng)時(shí)也會(huì )有微粒子的發(fā)生。故為了控制發(fā)塵量達到zui小限度應采取以下對策：

    1）減少接觸剝離發(fā)塵的動(dòng)作形態(tài)；

    2）采用磨耗發(fā)塵小的材質(zhì)；

    3）采用發(fā)塵小的潤滑油；

    4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

    三、不儲備

    若能*實(shí)施“不攜入”技術(shù)，無(wú)塵室內的潔凈度就可以維持。但現實(shí)中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動(dòng)，在廣大的無(wú)塵室內要有*潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術(shù)快速地在過(guò)濾器中應用以除去已發(fā)生的微粒子變得非常重要。通常已發(fā)生的微粒子會(huì )依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發(fā)性的振動(dòng)及不穩定的氣流會(huì )使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

    在zui高等級無(wú)塵進(jìn)化工程中的無(wú)塵室中從天花板到地面，*除去微粒子的空氣須在0.3-0.4m/s的速度作垂直向下流動(dòng)。這是在約10秒內將室內空氣和*過(guò)濾空氣*交換所計算出來(lái)的數值。同時(shí)，空氣的流向也必須要有的控制才行。特別要保證氣流的流通路徑暢通無(wú)阻，因為在流通路徑中有障礙物的話(huà)，容易產(chǎn)生空氣空氣渦流而形成空氣的滯留區域，使得附近已發(fā)生的微粒子無(wú)法快速排除而長(cháng)時(shí)間漂流在無(wú)塵室內，而一部分會(huì )附著(zhù)在周邊機器設備的表面而引起污染。

    控制氣流可防止微粒子累積，但對于帶電表面的微粒累積就無(wú)法防止。

為了防止由靜電吸附而引起的微粒附著(zhù)，通常在無(wú)塵室內會(huì )使用帶電程度在數十伏以下的導電性材料。而對于制造品本身的帶電，則采用帶電程度很少的搬送形態(tài)及接觸部品材料，并藉由除電裝置進(jìn)行除電。

    四、排除/除去

    在無(wú)法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中，為了不讓無(wú)塵室內產(chǎn)生微粒子，因此直接做對外排氣的動(dòng)作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會(huì )伴隨大量的能源消耗。所以無(wú)法說(shuō)是理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時(shí)，不僅僅是向無(wú)塵室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到無(wú)塵室內之對策。


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