FFU層流罩之潔凈室亂流式:
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器(HEPA)進(jìn)入潔凈室,并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級?! ?br />
優(yōu)點(diǎn):構造簡(jiǎn)單、系統建造成本,潔凈室之擴充比較容易,在某些特殊用途場(chǎng)所,可并用無(wú)塵工作臺,提高潔凈室等級。
缺點(diǎn):亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出,易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活,欲達需求之潔凈度,往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。
FFU層流罩之集中式潔凈空調系統是無(wú)塵凈化工程的潔凈設備(如加熱器、冷卻器、加濕器、粗中效空氣過(guò)濾器、風(fēng)機等)集中設計在空調機房?jì)?,用風(fēng)管將潔凈空氣送進(jìn)各個(gè)潔凈室。分散式潔凈空調系統是在一般的空調環(huán)境或低級別潔凈空調環(huán)境中,設置凈化設備或潔凈空調設備(如凈化單元、空氣自?xún)羝?、層流罩、潔凈工作臺等).在半導體芯片工廠(chǎng)或其他生產(chǎn)過(guò)程要求高潔凈度的潔凈廠(chǎng)房中,其潔凈空調系統采用循環(huán)空氣方式,其循環(huán)方式主要有集中式、隧道式、風(fēng)機過(guò)濾單(FFU)方式和微環(huán)境+開(kāi)放式潔凈室方式等。這些送風(fēng)方式既可以滿(mǎn)足高潔凈度要求,還可以不同程度地減小能耗。
LED/液晶/線(xiàn)路板制造是一種高度精密化的工業(yè),一些細微的環(huán)境或操作變動(dòng)都有可能影響其制造成品的質(zhì)量,因此制造過(guò)程均要求在嚴格控制下的潔凈室中操作。潔凈室是一個(gè)采用層層過(guò)濾以去除空氣中微粒存在,并控制室內溫度與濕度于恒定狀態(tài)的密閉空間。
經(jīng)營(yíng):無(wú)塵凈化工程 實(shí)驗室凈化工程 通風(fēng)凈化工程
電話(huà)
微信掃一掃